[請問] 旋轉式powder ALD相關問題
看板: ask
作者: YHLee0105 (萊茵河)
標題: [請問] 旋轉式powder ALD相關問題
時間: Sun Jul 3 18:30:49 2022
旋轉式Powder ALd是藉由
旋轉方式讓粉末飄起來
再藉由前驅物的化學反應
讓粉末表面鍍上一層薄膜
如圖所示
https://i.imgur.com/h0Q88vh.jpeg.jpg
為何腔體內壁要設計成凹凸不平的樣子？
請問這樣子有什麼好處？
如果可以的話，拜託提供相關原理的文章或是論文
拜託各位大大
-----
Sent from MeowPtt on my iPhone
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 125.227.182.151 (臺灣) ※ 文章網址 ※